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纳米硬度:
根据总施加载荷的大小：
宏观硬度（日本、美国和前苏联等定为10N以上，欧共体和国际机构则定为2N以上）
显微硬度（上限：10N或2N；下限：10mN左右）
纳米硬度（一般在700mN以下，有的生产商为了便于研究者模拟显微硬度，配有10N载荷附件。）
宏观硬度和显微硬度适用于较大尺寸的试样，仅能得到材料的塑性性质，随着现代材料表面工程（气相沉积、溅射、离子注入、高能束表面改性、热喷涂等）、微电子、集成微光机电系统、生物和医学材料的发展、试样本身活表面改性层厚度越来越小，人们在设计时不仅要了解材料的塑性性质，更需要掌握材料的弹性性质。传统的硬度测量已无法满足新材料研究的需要，纳米硬度技术应运而生。
纳米硬度计有两种压痕硬度和划痕硬度两种工作模式，它是一种检测材料微小体积内力学性能的先进测试仪器。由于压痕或划痕深度一般控制在微米甚至纳米尺度，该仪器是进行电子薄膜、各类涂层、材料表面及其该改性的力学性能检测的理想手段。它不需要将表层从基体上剥离，可以直接给出材料表层力学性质的空间分布，例如，能检测出焊点及其附近材料的力学性质。由于试样准备简单，即使材料达到可以用其他宏观方法检测，该方法仍然是一种可以选择的方法。
